ASML поставила первый литографический сканер для чипов будущего с трехмерной упаковкой
В ходе презентации своего последнего квартального отчета голландская компания ASML сообщила, что поставила заказчику первый литографический сканер своего нового семейства Twinscan XT:260, оптимизированный для производства чипов со сложной трехмерной пространственной упаковкой.
Это оборудование, входящее в серию i-line, использует длину волны лазера 365 нм и обеспечивает разрешение около 400 нм, чего достаточно для определенных приложений. Производительность системы достигает 270 кремниевых пластин в час, что примерно в четыре раза превышает существующие решения такого типа. Запуск этого сканера призван устранить разрыв в технологических возможностях оборудования, используемого для обработки чипов на начальном и конечном этапах производства соответственно.
Генеральный директор ASML Кристоф Фуке во время своего ежеквартального отчета о финансовых результатах подчеркнул, что передовые технологии упаковки становятся важнейшим компонентом цепочки поставок полупроводниковой промышленности. ASML намерен использовать опыт, полученный при разработке существующих сканеров, в системах литографии следующего поколения. Точные клиенты, которые получат усовершенствованный сканер Twinscan XT:260, не уточняются. Технически подобное оборудование может использовать Intel для своей технологии Foveros или TSMC для своих технологий CoWoS и SoIC. Об этом оборудовании было объявлено прошлой осенью; в первую очередь он будет использоваться для обработки кремниевых пластин для чипов со сложной пространственной компоновкой.
Этот сканер предлагает работу с полем изображения 52 х 66 мм, что позволяет беспроблемно обрабатывать пластины размером до 3432 мм². За счет увеличения площади чипа за счет многочиповой упаковки это оборудование оптимизирует производственный процесс. Точность юстировки этого сканера составляет 35 нм и позволяет работать с деформированными и толстыми (до 1,7 мм) кремниевыми пластинами размером до 300 мм. Скорость обработки также увеличивается за счет одновременного выравнивания следующей пластины и экспонирования предыдущей. Согласно инструкции ASML, сканер Twinscan XT:260 является лишь первой моделью целого семейства специализированного литографического оборудования.
