Неожиданный прорыв: Китай реконструировал EUV-литографию ASML

Сверхсекретная китайская лаборатория в Шэньчжэне собрала прототип машины для литографии в крайнем ультрафиолете (EUV) — технологии, которая сегодня определяет, кто может производить самые передовые процессоры искусственного интеллекта, смартфоны и высокоточное оружие. Как стало известно агентству Reuters, машина была построена командой бывших инженеров из нидерландской ASML, которые реконструировали основные узлы и принципы работы EUV-сканеров. Прототип сейчас работает и постоянно генерирует EUV-излучение, но еще не производит рабочие чипы.

В апреле 2025 года генеральный директор ASML Кристоф Фуке назвал разговоры о китайском EUV «легкомысленными», заявив, что стране потребуется «много-много лет» для создания полноценной машины, и уточнил, что «всегда возможно генерировать немного EUV-света», но это не было свидетельством «серьезного продукта». Но Reuters описывает уже не «настольный» эксперимент, а демонстрацию, занимающую почти весь производственный цех; по данным источников агентства Китайские власти хотели бы иметь работающие чипы к 2028 году, но участники проекта считают более реалистичным срок 2030 года.

До сих пор только ASML поставляла промышленную EUV-литографию по всему миру. Его самые передовые системы размером со школьный автобус весят около 180 тонн и стоят около 250 миллионов долларов за единицу. Без них невозможно последовательное внедрение передовых кремниевых топологий для чипов, разработанных Nvidia и AMD и производимых TSMC, Intel и Samsung. Между тем, поставки на рынок передовых литографических машин ASML строго контролируются правительствами Нидерландов и США. Их доставка в Китай запрещена.

ASML создала первый работающий прототип EUV еще в 2001 году, но коммерческая реализация в отрасли достигла только в 2019 году после многих лет исследований и разработок, стоимость которых составила миллиарды евро.

По данным агентства Reuters, китайская программа началась в 2019 году как закрытая государственная инициатива «самообеспеченности» в области полупроводников. Публично Пекин уже много лет говорит о снижении зависимости от западной электроники, но проект EUV в Шэньчжэне проводится тайно и, по данным агентства, встроен в общую технологическую политику, которую китайские СМИ связывают с работой Центральной комиссии по науке и технологиям, которую возглавляет приятель Си Цзиньпина Дин Сюэсян.

По данным Reuters, Huawei играет координирующую роль: компания участвует в цепочке «от проектирования и заводского оборудования до окончательной интеграции», а глава Huawei Рен Цзюньфэй, как сообщается, отчитывается перед высшим руководством о ходе работы.

Техническое «сердце» EUV – это источник света лазерно-плазменного типа. В классической схеме лазеры ударяют по каплям расплавленного свинца примерно 50 000 раз в секунду, образуя сверхвысокотемпературную плазму, излучающую ЭУФ-излучение, которое затем собирается многоступенчатой ​​системой зеркал, работающей в вакууме.

По мнению собеседников Reuters, именно оптика является основной проблемой: исследователям сложно повторить точность оптических систем на уровне Carl Zeiss, ключевого партнера ASML.

В проекте участвуют институты Китайской академии наук. Reuters указывает на Чанчуньский институт оптики, точной механики и физики (ЦИОМП): по словам источника агентства, он добился прорыва в интеграции EUV-излучения в оптическую систему прототипа, благодаря чему объект заработает в начале 2025 года.

По данным агентства Reuters, в марте сам ЦИОМП объявил о наборе исследователей с «неограниченной» зарплатой и грантами до 4 миллионов юаней плюс 1 миллион юаней в виде личных грантов – редкий сигнал в академических кругах о чрезвычайной важности проекта.. По данным агентства, инженеры ASML китайского происхождения были наняты под псевдонимами и получили фальшивые документы, удостоверяющие личность, для работы на комплексе. Кампания по привлечению специалистов стартовала в 2019 году.

Рынок нервно отреагировал на новость: в ходе торгов 18 декабря американские акции ASML упали примерно на 5-6%. Но в краткосрочной перспективе это скорее стратегическая угроза, чем немедленный торговый удар. Китай остается важным рынком для ASML для машин «предыдущего поколения»: в апреле 2025 года в компании отмечали, что доля продаж системы в Китай достигла 27% квартальных поставок, поскольку местные производители ускоряют закупки на фоне риска новых ограничений.

Вопрос теперь в том, сможет ли Китай превратить «рабочий источник света» в производственную экосистему — с оптикой, вакуумом, чистотой процесса, программным обеспечением и повторяемостью на уровне завода для массового производства.

В оценке Reuters бывший инженер ASML и аналитик SemiAnalysis Джефф Кох называет задачу технически осуществимой и сводит ее к срокам: если источник света достаточно мощный, надежный и не создает слишком большого загрязнения, «значительный прогресс» неизбежен.

В связи с этим вполне реалистичен прогноз экспертов о том, что первые работающие чипы с использованием самой передовой технологии литографии Китай сможет получить уже через 5-6 лет, вместо 18 лет, которые понадобились самой ASML для ее создания.

Западные СМИ дали проекту жаргонное название «Китайский Манхэттенский проект» из-за абсолютной секретности, с которой все делается. Если Китаю удастся произвести аналоги современных EUV-машин ASML, рынок полупроводников испытает беспрецедентный переворот.