В полупроводниковой промышленности была создана технология оформления травления.
Исследовательская группа LAM представила первую прочную индустрию травления плазмы. Технология основана на методе точного контроля плазмы — электрически заряженное состояние вещества, используемое при производстве полупроизводных. DirectDrive обещает беспрецедентную точность на уровне нескольких ангстрем и генерирует плазму с чувствительностью в 100 раз выше, чем у его аналогов. Это приводит к значительно меньшему дефектам в моделировании при…