Прорыв в литографии: тулиевый лазер экономит гигаватты энергии
Ливерморская лаборатория тестирует технологии будущего. Ливерморская национальная лаборатория (LLNL) работает над петаваттным лазером на основе тулия, который может стать революционным шагом в системах литографии будущего. Новый лазер, известный как Тулий с большой апертурой (НДТ)предложений 1В 0 раз эффективнее современных CO2-лазеровиспользуемый в системах литографии в крайнем ультрафиолете (EUV). Это может проложить путь к новым системам.за пределами…