Одна из лучших разработок 2024 года: в Китае созданы УФ-светодиоды для безмасочного производства чипов

Ученые из Гонконга вместе со своими коллегами из материкового Китая представили первые в мире дисплеи MicroLED со светодиодами в глубоком ультрафиолетовом диапазоне. Это решение для изготовления полупроводников методом литографии без использования масок.

Если разработка будет внедрена в производство чипов, это удешевит литографическое оборудование с традиционными источниками света, такими как ртутные лампы, и даже сделает их ненужными.

Статья на эту тему была опубликована в журнале Nature в октябре прошлого года. Позже она была отмечена как одна из десяти прорывных технологий, разработанных в Китае в 2024 году. Нельзя отрицать, что переход на безмасочное производство с использованием дисплеев MicroLED существенно упростит производственные линии и их обслуживание, а также снизит затраты на содержание инфраструктуры – воды, электричества, вентиляции и т.д.

Светодиодные излучатели размером от 3 до 100 мкм были изготовлены (выращены) на пластинах из сплава нитрида алюминия-галлия (AlGaN).

Длина волны светодиодов выбрана равной 270 нм, но это значение можно изменить для достижения наибольшей эффективности в достаточно широком ультрафиолетовом спектре (210-400 нм). Экспериментальный проекционный дисплей без маскировки достиг разрешения 2540 точек на дюйм. Исследователи планируют увеличить разрешение до 8K и выше. Плотность потока излучения составляет 396 Вт/см². Поток был стабильным и регулируемым, что обещало бездефектное производство и длительный срок службы.

«По сравнению с другими заявленными разработками, наша инновация отличается меньшим размером устройства, меньшим напряжением возбуждения, более высокой внешней квантовой эффективностью, более высокой плотностью оптической мощности, большим размером кристалла и более высоким разрешением дисплея. Эти ключевые улучшения в характеристиках UV MicroLED делают это исследование лучшим в мире во всех аспектах».

пришли к выводу исследователи из Гонконгского университета науки и технологий, которые руководили разработкой