Университет Чжэцзян представляет литографическую машину электронного луча с точностью 0,6 нм в качестве альтернативы технологии ASML EUV

Доступ к передовым производственным процессам определяет экономическое и военное преимущество. Наиболее важным элементом этой головоломки является литография, то есть техника, которая позволяет вам «печатать» схемы на кремниевых пластинах. Одна компания доминирует в этой области в течение многих лет, и доступ к своим самым продвинутым машинам строго регулируется. Другие страны, включая Китай, интенсивно работают над своими собственными решениями, которые могут обеспечить им независимость.

Китайский прорыв в литографии электронной лучи является важным шагом в погоне за независимостью, но это еще не прямая замена массового производства чипов.

165 миллиардов долларов и не заканчивая отправкой чипсов через Pacific. TSMC строит полную производственную сеть в Америке

Китай представил свою первую коммерческую машину для электронной литографии (E-Beam) под названием «Xizhi». Устройство, разработанное учеными из Университета Чжэцзян, является важным шагом в стремлении страны к самооценке в производстве полупроводников. Из -за американских санкций, Китай не имеет доступа к последним литографическим машинам голландской компании ASML. Новое устройство является ответом на эти ограничения и позволяет применять высокие схемы точности, сравнимые с глобальными стандартами. Технология электронных лучей, в отличие от Optical, не требует использования дорогих фото масок, что облегчает прототипирование и производство систем в небольших сериях.

https://www.youtube.com/watch?v=rx_j0bnrqms

Taiwan Company GlobalWners при поддержке Закона о чипсах начал производство 300 -мм кремниевой плитки на фабрике Шермана Техас

Достижение китайских инженеров является значительным, но не представляет прямой угрозы доминированию ASML в сегменте массового производства. Основным ограничением технологии электронного луча является ее низкая производительность. В то время как машины EUV освещают большую вафельную область одновременно, электронная система «рисует» линию рисунков на линии. По этой причине литография электронной лучи неэффективна в случае крупномасштабного производства, требуемого процессорами для компьютеров или смартфонов. Вывод заключается в том, что «Xizi» будет использоваться главным образом в исследованиях, разработках, производстве квантовых чипов, а также для создания масок для более старых типов литографии. Это важный элемент независимости построения, но проблема массового производства самых передовых систем еще не решается.

https://www.youtube.com/watch?v=8gciikm2dq8

Источник: Южно-Китайский утренний пост, e-huangzou